等離子設備主要適用于各種材料的表面改性處理:表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積:
表面改性:
紙張粘合,塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理
表面活化:
生物材料的表面修飾,印刷涂布或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理
表面刻蝕:
硅的微細加工,玻璃等太陽能領域的表面刻蝕處理,醫(yī)療器皿表面刻蝕處理
表面接枝:
材料表面特定基團的產生和表面活化的固定
表面沉積:
疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積
廣泛應用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫及污染治理等多種領域,是企業(yè)、科研院所進行等離子體表面處理的理想設備。