水磨石無塵車間地面,施工質量會失控。金屬隔珊通風地面,用于垂直單項流無塵車間作為回風隔柵使用,一般采用多孔板。粘貼性無塵車間地面,有聚氯乙烯軟板,聚氯乙烯半硬板等,常用的有板材和卷材形式,具有一定的彈性,耐磨不起塵,易清洗,耐腐蝕,防靜電,但整體性差,接縫和粘貼施工質量失控后,影響使用效果,適用于電子、精密制造的一般無塵車間。
無塵車間空氣凈化系統分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規,潔凈度主要由單位時間換氣次數決定。因此,在確定凈化系統的技術參數之前,必須認真考慮無塵車間的工作性質和生產要求。
在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。
在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。