在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。
在平時,工作人員除了需要定期進行盆浴或淋浴外,還應當定期洗頭。保持身體的清潔,盡量減少死皮數量。同時,在每次進入無塵車間之前,都應該對手進行徹底的清潔。平時看起來挺干凈的手,其實也是一大污染源,能夠將污染物從一處傳到另一處。在清洗的時候,尤其應該注意指甲、指甲根部和手上的傷處。
在工作中,工作人員應當盡量避免或者減少接觸設備的產品的次數,如果可以,還是采取全自動的生產流程。如果一定要接觸的話,應該先洗干凈手,并且戴上手套,防止對設備和產品造成污染。
對于要求比較高的無塵車間,還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層,再通過鋪設靜電接地網來達到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿,那么久需要添加靜電接地網來達到防靜電功能。一般來說,電子無塵車間對防靜電的要求會比較高。