廠房地面材料多采用聚氨脂涂料、環氧樹脂、人造革、水磨石等，為了有效預防地面材料發塵和提高地面材料的使用壽命，可采用防靜電積聚的蠟水打蠟。蠟面用超濾塵工業吸塵機吸塵或洗地吸干機洗地。
設施設備用超濾塵工業吸塵機吸塵或用無塵抹布擦拭。
為了清洗時有針對性和維護建筑物， 高層建筑物廠房的清洗是一項十分復雜的系統工程。首先要分析污垢的成份和結構及污染程度。
高層建筑物廠房的污垢組成及建筑物的理化性質：一級比一級嚴重， 廠房的污垢一般分為三級。一級是灰塵；二級是污漬；三級是污垢。通常所說的污垢是三者的總稱。
廠房清洗的物理方法：具體方法是用水沖洗(或水噴淋)使污垢疏軟、剝離、融化， 主要是通過外力使污垢脫離建筑物的廠房。后再用水沖洗干凈。該方法主要有于釉面磚、水涮石、馬賽克等廠房資料上的積灰、浮塵和泥沙、土渣等的去除作用，但其水量的消耗很大，再加之高壓噴射并且容易損壞廠房，而且對一些廠房的血漬、重垢則無能為力，故單獨使用這種方法實用性不大。
多數廠房的墻面用的是玻璃、彩鋼板、鋁塑板等材料制作，可以選用無塵抹水器、無塵抹布擦拭表面，并配上玻璃刮，不平整的地方也要用超濾陳工業吸塵機吸塵。
多數廠房的地面用大理石，塑膠板，水磨石等材料，為了減少地上的揚塵和地面材料的使用時長，可以在地面用防靜電蠟水打蠟。地面可以用洗地吸干機洗地。