國內外關于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術的相關研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。
為了進一步極限化的提高銦錫的收率，進一步簡化工序，提升生產效率，減少環境污染，此次在基于氯化錫具有相對較低沸點的特性的基礎上，設計了“鹽酸浸出—蒸餾分離銦錫—鋅或鋁置換銦—蒸出錫提純制五水氯化錫/蒸出酸回用”的技術方案，并進行了系統的試驗驗證。
采用蒸餾法進行銦錫的分離及資源化試驗，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗工藝可得到99.97%純度的金屬銦產品的同時，還可繼續生產高品質的副產品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節約酸堿中和成本的同時實現了清潔生產。
ITO靶材生產所消耗的銦錠占全球銦消費總量的70%左右，其它包括電子半導體領域、合金和焊料領域、研究行業。全球預估銦儲量僅5萬噸，其中可開采部分僅有50%。