對ITO廢靶材中銦錫進(jìn)行資源化的關(guān)鍵是要綜合考量銦錫的分離率、直收率以及產(chǎn)品和副產(chǎn)品的品質(zhì)等經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)。上述幾種主流的從ITO廢靶中綜合回收銦錫的工藝中有一個共性的問題，那就是銦錫的分離不夠徹底，銦的回收率在97%～98%，進(jìn)一步提升銦收率的空間較小，產(chǎn)生的錫渣或粗錫中含銦較高，作為錫原料或產(chǎn)品出售時會造成銦的損失；所以，探尋一種從ITO廢靶材中充分、徹底分離并回收銦錫的新方法顯得尤為重要。
試驗(yàn)結(jié)果表明，基于蒸餾法的銦錫資源化工藝可實(shí)現(xiàn)更徹底的銦錫分離效果：在實(shí)現(xiàn)99.52%的錫去除率的同時，銦的收率高達(dá)99.70%。本研究在獲得更高的銦錫直收率的同時，可得到高品質(zhì)的金屬銦產(chǎn)品及副產(chǎn)品五水氯化錫；且蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后可回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。
2017年6月，工信部發(fā)布《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2017年版）》，提出了平板顯示用ITO靶材、平板顯示用高純鉬靶材等重點(diǎn)新材料的應(yīng)用領(lǐng)域。伴隨ITO技術(shù)和產(chǎn)能突破瓶頸，國產(chǎn)ITO靶材憑借成本和性價比優(yōu)勢將逐步占領(lǐng)市場。
從全球ITO靶材需求量來看，據(jù)統(tǒng)計，截至2019年全球ITO靶材市場需求量為1680噸，2015-2019年CAGR為5.5%。