Renishaw雷尼紹 RESOLUTE UHV（超高真空）非增量式光柵

RESOLUTE UHV為超高真空應(yīng)用提供非增量式光柵技術(shù)，幫助客戶提高測(cè)量效率，降低損壞風(fēng)險(xiǎn)，并增強(qiáng) 可靠性。

RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的非增量式光柵技術(shù)，通過一個(gè)適合在低達(dá)10 -10 Torr的超高真空條件下應(yīng)用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術(shù)優(yōu)勢(shì)。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構(gòu)造有利于進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA)而不會(huì)污染真空環(huán)境，非常適合性能高、半導(dǎo)體和科研等應(yīng)用領(lǐng)域。

頂部測(cè)量效率顯著提高

RESOLUTE的性能優(yōu)于其他所有為UHV環(huán)境設(shè)計(jì)的非增量式光柵。RESOLUTE的分辨率達(dá)到32位（直線光柵達(dá)到1 nm），速度達(dá)到36 000轉(zhuǎn)/分（直線光柵達(dá)到100 m/s），其超凡的技術(shù)指標(biāo)是光柵技術(shù)的一大新突破!

但RESOLUTE帶來的不僅僅是高速度……先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù)還兼具內(nèi)在的超低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和極低噪音（抖動(dòng)）特點(diǎn)。

頂部結(jié)果：

速度波動(dòng)穩(wěn)定性提高10倍

位置穩(wěn)定性提高10倍

可重復(fù)性提高10倍

電機(jī)產(chǎn)生的熱量減少

頂部降低損壞風(fēng)險(xiǎn)

RESOLUTE是一款真正的非增量式光柵，意味著開啟之后立即確定位置。

無需“開啟并晃動(dòng)”

無需備用電池

立即實(shí)現(xiàn)對(duì)軸控制

快速電機(jī)換向

保持高負(fù)載

例如，這些特點(diǎn)意味著在斷電后仍可以確保機(jī)器人對(duì)晶片進(jìn)行拾取操作。

頂部可靠性增強(qiáng)

RESOLUTE的中心技術(shù)消除了幾種與光柵反饋有關(guān)的很常見失效模式。每次讀數(shù)頭收到來自主控制器的請(qǐng)求時(shí)，RESOLUTE柵距圖像，以此確定絕dui位置。圖像包含高度冗余，而讀數(shù)頭應(yīng)用復(fù)雜的交叉檢查和錯(cuò)誤剔除，將定位精度保持在1 nm范圍內(nèi)。這種技術(shù)意味著不會(huì)發(fā)生計(jì)數(shù)錯(cuò)誤或者“丟數(shù)”情況。

此外，RESOLUTE采用獨(dú)有的內(nèi)置位置校驗(yàn)算法，在輸出之前主動(dòng)校驗(yàn)每個(gè)位置讀數(shù)，以便在任何潛在問題到達(dá)控制器之前就能及時(shí)提醒。同時(shí)它還可以監(jiān)測(cè)速度、信號(hào)狀態(tài)和溫度。

RESOLUTE使用純串行通信向控制器發(fā)送已校驗(yàn)的位置信息。根據(jù)RESOLUTE使用的所有協(xié)議，應(yīng)用CRC檢查，以便能夠檢測(cè)出傳輸過程中的數(shù)據(jù)損壞。

頂部直線光柵和圓光柵

RESOLUTE UHV提供一系列適合各種直線光柵和圓光柵應(yīng)用的柵尺。

頂部直線光柵選項(xiàng)

名稱

材料

類型

精度

長(zhǎng)度

RELA

ZeroMet

具有極低CTE的柵尺

±1 μm

1.13 m

RSLA

不銹鋼

柵尺

長(zhǎng)度1 m時(shí)精度±1.5 μm

長(zhǎng)度2 m時(shí)精度±2.25 μm

長(zhǎng)度3 m時(shí)精度±3 μm

長(zhǎng)度5 m時(shí)精度±4 μm

5 m

RTLA

不銹鋼

配合FASTRACK使用的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

RTLA-S

不銹鋼

帶自帶不干膠的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

頂部圓光柵選項(xiàng)：

RESA圓柵具有低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和大通孔。尺寸從52 mm至550 mm。

REXA超高精度圓柵配用雙讀數(shù)頭使用時(shí)保證精度優(yōu)于±1角秒（在尺寸100 mm和更大的圓柵上）。尺寸從52 mm至550 mm。

Renishaw雷尼紹RESR系列圓光柵

雷尼紹RESR圓光柵具有優(yōu)越的性能。RESR刻劃精度達(dá)±0.5角秒、分辨率達(dá)0.004角秒，適用于精度要求的測(cè)量場(chǎng)合。

頂部RESR圓光柵

RESR圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20 μm柵距RESR與RGH20和RGH35讀數(shù)頭兼容，而40 μm柵距RESR與RGH34和RGH40讀數(shù)頭兼容。

刻劃精度達(dá)±0.5角秒，系統(tǒng)重復(fù)性達(dá)0.004角秒

提供多種直徑和刻線數(shù)，可與一系列具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從52 mm到550 mm，刻線數(shù)從4096到86 400）

具有專Li的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)集成

10 mm x 10 mm小截面圓光柵

低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的設(shè)計(jì)增強(qiáng)了動(dòng)態(tài)性能

一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動(dòng)、機(jī)械和熱撞擊，以及熱負(fù)載

為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復(fù)時(shí)間，還可提供轉(zhuǎn)動(dòng)量極低的"B"截面圓光柵

參考零位（具有可重復(fù)的起始位置）由單獨(dú)的勵(lì)磁塊提供

20 μm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數(shù)頭兼容

升級(jí)為TONiC

頂部RGH20讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)

讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)小巧，能夠提供具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出

非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

讀數(shù)頭的LED安裝指示燈簡(jiǎn)化了安裝過程

具有專li的光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下，仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性

REF接口提供自動(dòng)增益控制 (AGC)、自動(dòng)平衡控制 (ABC) 和自動(dòng)偏移量控制 (AOC)，極大降低了周期誤差 (<±50 nm)

參考零位提供可重復(fù)的起始位置，而限位開關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)

可提供超高真空兼容型RGH20F版本

技術(shù)規(guī)格

讀數(shù)頭尺寸

14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)

10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)

9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)

輸出（分辨率）

RS422：5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm（RGH20F）、10 nm（RGH20F）、5 nm（RGH20F）

模擬：1 Vpp

細(xì)分

RGH20 — 內(nèi)置細(xì)分電路達(dá)50 nm

RGH20F — REF接口（x4至x4 000）（可獲得從x4至x4096的二進(jìn)制細(xì)分系數(shù)）

RGH35 — RGI34接口（x4至x400）

參考零位 勵(lì)磁塊上的螺栓

限位開關(guān) 單限位（RGH40與40 μm柵距RESR具有雙限位）

速度高達(dá) 2938轉(zhuǎn)/分（直徑為?52 mm時(shí)為20 μm）

間隙公差

0.8 ±0.08 mm

柵尺類型 20 μm柵距（與RGH20和RGH35兼容）和40 μm柵距（與RGH34和RGH40兼容）RESR圓光柵

真空兼容 是 — RGH20F和20 μm柵距RESR

頂部系統(tǒng)精度 — 20 μm柵距RESR與RGH20

標(biāo)稱外徑 (mm)

系統(tǒng)精度（角秒）

52 5.6

57 5.1

75 3.9

100 2.9

101 2.9

103 2.8

104 2.8

115 2.5

150 1.9

200 1.4

標(biāo)稱外徑 (mm)

系統(tǒng)精度（角秒）

206 1.4

209 1.4

229 1.3

255 1.1

300 1.0

350 0.8

413 0.7

417 0.7

489 0.6

550 0.5

注：系統(tǒng)誤差等于刻度誤差加上電子細(xì)分誤差 (SDE)。