中固維科(深圳)廠家標準化設計制造耐真空高溫模組,可以在10-7Pa的真空環境下運行,耐溫達200℃,真空機器人的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率低的材料。此系列產品主要運用于真空室,高溫室,高潔凈度環境。
產品特點:一體化設計,可靠易用,標準化設計制造60、90、120三種規格,可定制其它規格,工作環境溫度-196℃至+200℃,適用真空度10-7Pa。應用于半導體設備,真空應用設備,化工設備,環境模擬測試設備,驅動機械手,工業機器人,傳送帶等領域。