大多數麥克風都是駐極體電容器麥克風(ECM),這種技術已經有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動膜。與ECM的聚合材料振動膜相比,MEMS麥克風在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定,不會受溫度、振動、濕度和時間的影響。由于耐熱性強,MEMS麥克風可承受260℃的高溫回流焊,而性能不會有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小,這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調試成本。目前,集成電路工藝正越來越廣泛地被應用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設計靈活、尺寸微型化、可與信號處理電路集成、低成本、大批量生產的優(yōu)點。早期微型麥克風是基于壓阻效應的,有研究報道稱,制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風。但是,在敏感膜內不存在應力的情況下,這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內將導致麥克風在聽覺頻率范圍內的頻率響應極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB),這對于麥克風應用是不可接受的。當敏感膜內存在張應力時,其諧振頻率將增大,卻以犧牲靈敏度為代價。當然,可以通過調整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率,但是這仍將減小靈敏度。由此可見,壓阻式方案并不適于微型麥克風的制造 。
鋁帶麥克風
對于鋁帶麥克風來說,其使用的鋁帶既是麥克風膜片,又是在磁場中運動的導體。鋁帶通常由鋁帛制成,厚0~1毫米,寬2毫米~4毫米,質量僅為0.2毫克,以求達到較好的瞬態(tài)反應。為了取得在2kHz~4kHz之間較理想的共振頻率,鋁帶被制成皺折狀以保持一個的張力值。鋁帶作為導體和麥克風膜片被懸掛于兩磁極面中間的磁場中,隨入射聲波頻率而振動,同時在鋁帶兩端產生一定的電壓輸出
接頭
1/4吋(6.3mm)接頭以及3.5mm接頭有分單聲道(mono)和立體聲(stereo)兩種,簡單的區(qū)分方式是看接頭上有幾個黑色的絕緣環(huán),兩個絕緣環(huán)代表立體聲,一個絕緣環(huán)則代表單聲道 [2] 。
接地
立體聲時為右聲道;平衡單聲道時為反相訊號;或做為單聲道的電源輸入端
立體聲時為左聲道;平衡單聲道時為正相訊號;非平衡單聲道時的信號輸出端
絕緣環(huán)
靈敏度:
在1KHz的頻率下,0.1Pa規(guī)定聲壓從話筒正面0°主軸上輸入時,話筒的輸出端開路輸出電壓,單位為10mV/Pa。靈敏度與輸出阻抗有關。有時以分貝表示,并規(guī)定10V/Pa為0dB,因話筒輸出一般為毫伏級,所以,其靈敏度的分貝值始終為負值。