凈室系統，制造匹配規格之潔凈空氣，連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內的制造區（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經過凈室系統各種處理單元設備之處理后進而得到匹配規格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經由外氣空調箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經由回風管道間（Mech. Chase），將凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格，透過循環風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動凈室的氣流循環帶走微塵及熱量，后經過超高性能過濾網（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應至Fab區。
工業廠房，指直接用于生產或為生產配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業、交通運輸、商業、建筑業以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業廠房除了用于生產的車間，還包括其附屬建筑物。
單層廠房在滿足一定建筑模數要求的基礎上視工藝需要確定其建筑寬度（跨度）、長度和高度。廠房的跨度B：一般為6、9、12、15、18、21、24、27、30、36m……。廠房的長度L：少則幾十米，多則數百米。廠房的高度H：低的一般5～6m，高的可達30～40m，甚至更高。廠房的跨度和高度是廠房照明設計中考慮的主要因素。
另外，根據工業生產連續性及工段間產品運輸的需要，多數工業廠房內設有吊車，其起重量輕的可為3～5t，大的可達數百噸（機械行業單臺吊車起重量可達800t）。因此，工廠照明通常采用裝在屋架上的燈具來實現。
標準廠房設計規范
一、工業廠房設計必須貫徹執行國家的有關方針政策，做到技術先進、經濟合理、適用、確保質量，符合節約能源和環境保護的要求。
二、本規范適用于新建和改建、擴建的工業廠房設計，但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規范有關防火和疏散、消防設施章節的規定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業廠房和地下工業廠房的設計。
三、條在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，工業廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區別對待，充分利用已有的技術設施。
四、工業廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和運行創造必要的條件。
五、工業廠房設計除應按本規范執行外，尚應符合現行的國家標準、規范的有關要求。
六、工業廠房是由獨立一棟建筑物（車間），和獨立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標準是10米，近不得少于5米，以便消驗收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。