凈室的定義為:將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長凈室ULPAfilter的壽命,但不能無條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>
工業(yè)廠房,指直接用于生產(chǎn)或?yàn)樯a(chǎn)配套的各種房屋,包括主要車間、輔助用房及附屬設(shè)施用房。凡工業(yè)、交通運(yùn)輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學(xué)校等單位中的廠房都應(yīng)包括在內(nèi)。工業(yè)廠房除了用于生產(chǎn)的車間,還包括其附屬建筑物。
標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
一、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策,做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、適用、確保質(zhì)量,符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。
二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的工業(yè)廠房設(shè)計(jì),但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定,不適用于建筑高度超過24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設(shè)計(jì)。
三、條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時,工業(yè)廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求,因地制宜、區(qū)別對待,充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。
四、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測試和運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。
五、工業(yè)廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外,尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。
六、工業(yè)廠房是由獨(dú)立一棟建筑物(車間),和獨(dú)立一棟建筑物(宿舍),兩棟建筑物之間距離標(biāo)準(zhǔn)是10米,近不得少于5米,以便消驗(yàn)收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1:3。