舒適性
輕鋼墻體采用節能體系,具有呼吸功能,可調節室內空氣干濕度;屋頂具有通風功能,可以使屋內部上空形成流動的空氣間,保證屋頂內部的通風及散熱需求。
快捷
全部干作業施工,不受環境季節影響。一棟300平方米左右的建筑,只需5個工人30個工作日可以完成從地基到裝修的全過程。
環保
材料可回收,真正做到綠色無污染。
節能
全部采用節能墻體,保溫、隔熱、隔音效果好,可達到50%的節能標準。
溫濕度要求比一般空調高一般空調要求在18°C~26 °C之間,相對濕度則在40%~65%之間;凈室空調必須控制在22°C~24 °C之間,相對濕度則在45%~55%。
恒溫恒濕控制由于半導體制程對溫濕度變化的大小極為敏感,故在凈室大部分區域必須控制在± 1°C及± 3%之內。
空調系統24小時全天運轉并監控管理半導體工廠部分制程設備,對溫濕度變化極為敏感,如黃光區Stepper光學機臺,些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差,另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環境下,故空調系統必須24小時監控管理之。
半導體廠凈室室內壓力大小半導體廠凈室室內壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產區的環境條件外,并可延長凈室ULPAfilter的壽命,但不能無條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉成本。
氣流分布須均勻凈室空調為帶走凈室內所產生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當的控制。