優(yōu)點
1 用途廣泛:可適用于工廠、倉庫、辦公樓、體育館、飛機庫等等。既適合單層大跨度建筑,也可用于建造多層或高層建筑。
2 建筑簡易,施工期短:所有構(gòu)件均在工廠預(yù)制完成,現(xiàn)場只需簡單拼裝,從而大大縮短了施工周期,一座6000平方米的建筑物,只需40天即可基本安裝完成。
3 經(jīng)久耐用,易于維修:通用電腦設(shè)計而成的鋼結(jié)構(gòu)建筑可以抗拒惡劣氣候,并且只需簡單保養(yǎng)。
4 美觀實用:鋼結(jié)構(gòu)建筑線條簡潔流暢,具有現(xiàn)代感。彩色墻身板有多種顏色可供選擇,墻體也可采用其它材料,因而更具有靈活性。
5 造價合理:鋼結(jié)構(gòu)建筑自重輕,減少基礎(chǔ)造價,建造速度快,可早日建成投產(chǎn),綜合經(jīng)濟效益大大優(yōu)于混凝土結(jié)構(gòu)建筑。
凈室,又稱無塵室、潔凈室或清凈室,是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過的(如沒有受控的微生物),更在意的是凈室中的灰塵。
溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間,相對濕度則在40%~65%之間;凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間,相對濕度則在45%~55%。
恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對溫濕度變化的大小極為敏感,故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。
所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中,制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣,這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除,故排氣量相當(dāng)大,為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大,此時所補充的空氣量亦隨之增加。