微電容申通道叉指電低溫探針臺(tái)：一體式不銹鋼腔體，手動(dòng)調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置

KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿(mǎn)足基本實(shí)驗(yàn)的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺(tái)采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個(gè)探針臺(tái)系統(tǒng)中獨(dú)立出來(lái)，可以應(yīng)用于輻照實(shí)驗(yàn)中，該探針臺(tái)也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測(cè)試。多探針結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)多路測(cè)試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測(cè)試數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。

微電容申通道叉指電低溫探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)：

真空腔體

類(lèi)型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體真空測(cè)量口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體進(jìn)氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺(tái)尺寸

26x26mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺(tái)-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到400℃

室溫到400℃ 室溫到-196℃

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.5℃

樣品臺(tái)升溫速率

高溫100℃/min 低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類(lèi)型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號(hào)輸入類(lèi)型

PT100 （可選K S B型熱電偶）

溫控輸出

直流線(xiàn)性電源加熱

直流線(xiàn)性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號(hào)接頭

配線(xiàn)轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線(xiàn)長(zhǎng)1.2米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針（可擴(kuò)展5探針）

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選）

探針尖

10μm

手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動(dòng)行程

120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動(dòng)行程

2mm ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）