真空度顯示:顯示腔體內部的真空度數值
運行程序段:分為3個步驟,綠色表示運行狀態
①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣
進氣流量顯示:通過調節A、B流量調節閥調節氣體進入腔體的大小,在兩個圖標顯示,上部顯示為A流量,下部顯示為B流量
時間:顯示設備清洗時間
功率:顯示當前設備清洗是清洗功率
設備溫度:顯示當前射頻電源設備溫度
放氣狀態:顯示當前放氣閥開啟或關閉狀態
清洗時間:點擊可設置設備運行清洗時間
清洗功率:點擊可設置設備運行清洗功率
開始運行:點擊可切換設備開始運行或者停止運行
真空度顯示:顯示腔體內部的真空度數值
運行程序段:分為3個步驟,綠色表示運行狀態
①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣
進氣流量顯示:通過調節A、B流量調節閥調節氣體進入腔體的大小,在兩個圖標顯示,上部顯示為A流量,下部顯示為B流量
時間:顯示設備清洗時間
功率:顯示當前設備清洗是清洗功率
設備溫度:顯示當前射頻電源設備溫度
放氣狀態:顯示當前放氣閥開啟或關閉狀態
清洗時間:點擊可設置設備運行清洗時間
清洗功率:點擊可設置設備運行清洗功率
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