無塵室的構成是由下列各項系統所組成（在所組成的系統分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：

⑴天花板系統包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調系統包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)包括窗戶、門。

⑷地板包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；

B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性小；

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高.